Effect of Glass Materials on Joints in Anodic Bonding of Glass to Silicon
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Study on the Glass Silicon Anodic Direct Bonding Parameters
By MEMS packaging test platform for bonding process of bonding temperature and bonding time, and test silicon specifications experimental study. Experimental results indicate that when the bonding voltage of 1200V, bonding temperature of 445 0 C to 455 0 C, bonding time is 60s, the void fraction is less than 5%. Glass and silicon wafer bonding quality can achieve the best. The experimental resu...
متن کاملA Microsystem Based on Porous Silicon-Glass Anodic Bonding for Gas and Liquid Optical Sensing
We have recently presented an integrated silicon-glass opto-chemical sensor for lab-on-chip applications, based on porous silicon and anodic bonding technologies. In this work, we have optically characterized the sensor response on exposure to vapors of several organic compounds by means of reflectivity measurements. The interaction between the porous silicon, which acts as transducer layer, an...
متن کاملthe effect of esp materials on medical studentsreading proficiency
چکیده این تحقیق " مواد درسی " را به عنوان یکی از بحث برانگیزترین موضوعات آموزش زبان تلقی کرده و درتلاش است به سه سوال عمده پاسخ دهد: 1) آیا بکارگیری جزوات گرداوری شده توسط گروهی از مدرسین تاثیر بسزایی در میزان توانش خواندن و درک متون انگلیسی دانشجویان پزشکی دارد؟ 2) آیا استفاده از مواد درسی اصلی( بین المللی )، توانش خواندن و درک متون انگلیسی دانشجویان پزشکی را به طور چشمگیری تحت تاثیر قرار م...
15 صفحه اولthe effect of authentic listening materials on the listening proficiency of efl learners in the intermediate level
having conducted the experiment and analysed the data, the researcher computed the groups mean scores and variances for the test relating to the research question. as the final atep, a t-test was conodonted for the hypothesis. as noted earlier, the significance level was determined at .05 and .01 respectively. the observed t-value was higher than the critical t-value at. 5 and .01 levels. conse...
15 صفحه اولmorphology, geochemistry, mineralogy, and micromorphology of soils of hormozgan province in relation to parent materials
ویژگی های زمین شیمیایی، کانی شناسی، و میکرومورفولوژیکی خاک ها و سنگ مادر مربوطه در منطقه بین بخش های جنوبی زاگرس و خلیج فارس تا دریای عمان(استان هرمزگان، ایران) مورد بررسی قرار گرفت. هدف های این مطالعه شناسایی تغییرات در خصوصیات فیزیکی، شیمیایی، و ترکیب کانی شناسی خاک، مطالعه میکرومورفولوژی و تکامل خاک، و بررسی توزیع عنصر خاک بر اساس هوازدگی، پروسه های خاک و زمین شناسی جهت توصیف اثرات مواد مادر...
15 صفحه اولذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Journal of the Japan Institute of Metals
سال: 2009
ISSN: 1880-6880,0021-4876
DOI: 10.2320/jinstmet.73.110